string filename = "newxls";//имя будущего файла
string format = ".xls";//расширение
string filePath = string.Format(@"{0}\{1}{2}", project.Directory, filename, format);//соберем путь до будущего файла
if(!File.Exists(filePath))//если файла не существует
new FileStream(filePath, FileMode.Create).Dispose();//создадим его